Bug 'kimyoviy birikmasi
Kimyoviy bug'ni quyish jarayoni uchta muhim bosqichga bo'linadi: reaktsiya gaz substrat yuzasiga tarqaladi, reaksiya gaz substrat yuzasida adsorbsiyalanadi, qattiq qatlam hosil qilish uchun kimyoviy reaktsiya yuz beradi. va gaz fazasining qo'shimcha mahsuloti substrat yuzasidan chiqariladi. Eng keng tarqalgan kimyoviy bug 'cho'kish reaktsiyalari: termal parchalanish reaktsiyalari, kimyoviy sintez reaktsiyalari va kimyoviy transport reaktsiyalari. Odatda TiC yoki TiN TiCl4, H2, CH4 va boshqa gazlarni 850 ~ 1100 ℃ haroratda reaksiya kamerasiga kiritish orqali kimyoviy reaktsiya orqali substrat yuzasida qoplama hosil qiladi.