Elektron mikroskopni skanerlash xususiyatlari
Elektron skanerlash mikroskopi mikroskoplar oilasida ko'tarilayotgan yulduz bo'lsa-da, juda ko'p o'ziga xos afzalliklari tufayli tez rivojlandi.
1 Asbob yuqori piksellar soniga ega va ikkilamchi elektron tasvir yordamida namuna sirtining tafsilotlarini taxminan 6nm da kuzatish mumkin. LaB6 elektron qurolidan foydalanib, uni 3 nmgacha yaxshilash mumkin.
2 Asbobning kattalashtirish diapazoni katta va doimiy ravishda sozlanishi mumkin. Shuning uchun siz o'zingizning ehtiyojlaringizga qarab kuzatuv uchun turli xil ko'rish hajmini tanlashingiz mumkin. Shu bilan birga, oddiy kattalashtirishda oddiy transmissiya elektron mikroskoplari yordamida erishish qiyin bo'lgan yuqori yorqinlikdagi aniq tasvirlarni olishingiz mumkin.
3 Namuna maydonining chuqurligini kuzating, ko'rish maydoni katta va tasvir uch o'lchovli tuyg'uga to'la. U to'g'ridan-to'g'ri qo'pol sirtni katta tebranishlar bilan va namunaning notekis metall sinishi va boshqalarni kuzatishi mumkin, bu esa odamlarga mikro olamda bo'lish tuyg'usini beradi.
4 Namuna tayyorlash oddiy, chunki blok yoki kukun namunasi ozgina ishlov berilsa yoki davolanmasa, uni skanerlash elektron mikroskopida bevosita kuzatish mumkin, shuning uchun u moddaning tabiiy holatiga yaqinroq.
5 Rasm sifati yorqinligi va kontrastini avtomatik saqlash, namunani qiyalik burchagini to'g'rilash, tasvirni aylantirish yoki Y modulyatsiyasi orqali tasvir kontrastini yaxshilash kengligi va tasvirning har bir qismining yorqinligi kabi elektron usullar bilan samarali boshqarilishi va yaxshilanishi mumkin. O'rtacha. Ikkala kattalashtirish moslamalari yoki tasvirni tanlash moslamalari yordamida har xil kattalashtirishga ega bo'lgan tasvirlarni bir vaqtning o'zida lyuminestsent ekranda ko'rish mumkin.
6 Har tomonlama tahlil qilish mumkin. To'lqin uzunlik-dispersiv rentgen-spektrometr (WDX) yoki energetik-dispersiv rentgen-spektrometr (EDX) bilan jihozlangan, u elektron zond vazifasini bajaradi va aks etgan elektronlarni, rentgen nurlarini, katodli lyuminestsentsiyani, uzatilgan elektronlarni ham aniqlay oladi. , va Auger Electronics va boshqalar. Elektron mikroskopni skanerlashning turli mikroskopik va mikroskopik tahlil usullariga tatbiq etilishini kengaytirish skanerlash elektron mikroskopining ko'p qirraliligini ko'rsatadi. Bundan tashqari, morfologik tasvirni kuzatish paytida namunaning ixtiyoriy mikro mintaqalarini tahlil qilish ham mumkin; yarimo'tkazgichli namuna ushlagichining biriktirilishi bilan PN birikmasi va tranzistor yoki integral mikrosxemadagi mikro-nuqsonlar to'g'ridan-to'g'ri elektromotor kuch tasvir kuchaytirgich orqali kuzatilishi mumkin. Ko'pgina SEM elektron zondlari elektron kompyuterlarni avtomatik va yarim avtomatik boshqarishni amalga oshirganligi sababli, miqdoriy tahlil tezligi ancha yaxshilanadi.